誠和技研株式会社はセラミックスを専門とする技術商社会社です。

製品一覧

アルミナ(Al３O３） 特徴 ・耐摩耗性 ・耐熱性(1000℃まで使用可能) ・絶縁抵抗、絶縁耐力 ・耐薬品性 ・比較的安価 用途 ・耐摩耗ライナ、真球ボール ・ポンプ部品 ・半導体製造装置用部品 ・電気絶縁部品

ジルコニア(ZrO２） 特徴 ・機械的強度、破壊靭性 ・熱膨張率が金属に近く金属との接合に適している ・耐摩耗性 ・低熱伝導率 用途 ・ガイドローラー ・耐摩耗部品 ・粉砕、混錬用メディア ・プランジャー、ポンプ部品

炭化珪素(SiC） 特徴 ・高硬度 ・耐摩耗性 ・耐薬品性 ・高温強度 ・高熱伝導率 用途 ・半導体製造装置用部品 ・メカニカルシール ・耐熱部品 ・バーナー、ノズル ・メカニカルポンプ部品

窒化珪素(Si3N4） 特徴 ・耐熱衝撃 ・高温機械的強度 ・耐摩耗性 ・熱膨張係数が小 用途 ・半導体製造装置部品 ・耐摩耗部品 ・ベアリング部品 ・金属溶解用バルブ、ルツボ

石英ガラス 特徴 高純度性、耐熱性、耐食性が高く、透光性に優れている 用途 半導体装置用治具、ウエハーの薬液処理、超純水洗浄用の高純度用洗浄装置、耐薬品用理化学用製品、バーミラー等の光学製品

真空対応位置決めテーブル〈MT〉 仕様 サイズＷ45．Ｌ107．Ｈ28�o ストローク10�o（直動） 特徴 ・高真空（１×１０ −５ ｐａ程度） 対応 ・耐熱160℃真空対応ステッピングモータを採用　 ・真空対応フォトセンサを採用 ・真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを 　　選択します。また、グリースを使用しないで 　�@表面に固体潤滑コートを施した軸受、ボールねじ、ガイド 　�A完全ドライの特殊セラミックス製ガイド、送りねじ 　　を選択することも可能です。

真空対応位置決めテーブル〈PT〉 仕様 サイズＷ100．Ｌ66．Ｈ25�o(ストローク100�oの場合) ストローク100�o〜300�o（直動） 特徴 ・高真空（１×１０ −５ ｐａ程度） 対応 ・耐熱160℃真空対応ステッピングモータを採用　 ・真空対応フォトセンサを採用 ・真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを 　　選択します。また、グリースを使用しないで 　�@表面に固体潤滑コートを施した軸受、ボールねじ、ガイド 　�A完全ドライの特殊セラミックス製ガイド、送りねじ 　　を選択することも可能です。

真空対応位置決めテーブル〈VT〉 仕様 サイズＷ188．Ｌ188．Ｈ38�o ストローク25�oXY軸 単軸や3軸(XYZ)の組み合わせもあります 特徴 ・高真空（１×１０ −５ ｐａ程度） 対応 ・耐熱160℃真空対応ステッピングモータを採用　 ・真空対応フォトセンサを採用 ・真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを 　　選択します。また、グリースを使用しないで 　�@表面に固体潤滑コートを施した軸受、ボールねじ、ガイド 　�A完全ドライの特殊セラミックス製ガイド、送りねじ 　　を選択することも可能です。

USM駆動ユニット 仕様 サイズＷ125．Ｌ125．Ｈ40�o ストローク50�o 主材質：アルミナセラミックス 特徴 ・高真空（１×１０ −6 ｐａ程度） 対応 ・磁場変動量5nT(以下)範囲上面10�o上方　 ・超音波モーター ・案内方式ノングリースセラミックスガイド(v溝ボール)

ハーメチック　フィードスルー DCシリーズ 多極フィードスルーに対応するD-SUB型ハーメチック Oリングタイプとお好みのフランジに溶接可能な溶接タイプがあります MCシリーズ 多極フィードスルーに対応するMS丸型ハーメチック Oリングタイプとお好みのフランジに溶接可能な溶接タイプがあります CCシリーズ 単極のフィードスルーも導入端子BNC型、高電圧対応SHV型、LEMO型など多彩なラインナップをご用意しました

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